1500℃六温区开启式管式炉(Φ60刚玉管&不锈钢水冷密封法兰)
型号:
OTF-1500X-6Z
产品概述:
OTF-1500X-6Z是一款6温区开启式管式炉,刚玉管和不锈钢密封法兰,最高温度可达1500℃。六个独立的温控系统,采用S型热电偶,控温精度为 +/ - 1°C。此款设备可非常好地用于高温CVD和热处理应用。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
炉体结构

• 采用双层壳体结构,并且安装有风冷系统,保证设备运行时炉体表面温度≦60℃

• 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,表面涂有高温氧化铝涂层,可提高温度均匀性和延长炉膛使用寿命

• 6个温区由6个独立的温控仪表控制,最高温度1500℃,控温精度可达+/ - 1°C

• 总加热区长度为1440mm

• 此设备可得到较长恒温区,也可获得不同的温度梯度


输入功率

• 22KW


工作电压

• AC380V, 三相 50/60Hz(需要100A的空气开关)


最高工作温度

• 1500℃(小于30分钟)


连续工作温度

• 1400℃


建议最大升温速率

• 5℃/min


炉管

• 材料:高纯氧化铝管(刚玉)

• 尺寸: 60 O。D x 51 I。D x 1800mm L 

• 可选购直径达到

   Φ100mm石英管(最高使用温度为1200℃)

   Φ100mm高温合金管(最高使用温度为1100℃)


加热区长度

• 总加热区长度:1440mm(包含温区之空白区)

• 每个加热区长度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6:284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm

• 恒温区长度:800mm(+/- 2ºC,每个温区设置同样的温度)

注意:温度梯度可通过温区之间插入隔热环来进行调节。


温控系统

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• 6个温区,由独立的PID程序温控系统控制

• 可设置30段温度程序,精确控制加热速率,降温速率和保温时间

• 带有超温保护和报警

• 控温精度:+/- 1 ºC

• 6根S型热电偶(每个温区一根)

• 可选:

   (1)通过安装控制模块,可由PC机操作高温炉。请额外订购一个MTS-02控制模块。

   (2)如果您订购PC控制模块和高温炉,我们将在装运前对其进行安装和测试。我们建议您向我们订购一台笔记本电脑,以避免软件安装问题

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欧陆控温系统(可选)

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• 加热通道

• 程序可设置8或24段

• 控温精度:  ±0。1ºC

• 菜单:用PC工具菜单功能可被建立,用于选取不同的热处理工艺。对于用同一款设备对不同的材料采用不同工艺处理非常方便有用。


电脑,软件&无线控制(可选)

• Labview 温控系统,使用户可编辑温度曲线,管理热处理配方,记录和绘制数据

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真空度

• 10^-2 torr (采用机械泵)

• 10^-5 torr (采用分子泵系统)

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隔热管堵放置

• 设备中配有2个隔热管堵,可查看图片了解隔热管堵放置位置

• 可选购法兰支撑架,避免炉管转动

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加热元件

• 48根1500℃级别SiC棒(尺寸Φ14mm . x 150mm 加热段 x  413mm L)

• 加热元件是消耗品,可在本公司选购6根S型热偶,安装在设备上

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外形尺寸

• 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH


重量

• 300kg


应用注意事项

• 炉管设计用于真空和低压< 0.02 Mpa

• 不可将石墨坩埚放入到陶瓷炉管中

• 注意:用户所用气瓶上必须安装双级减压阀

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• 进气流量小于200SCCM(或200ml/min)


质保

• 一年质保期,终生维护(消耗品不包含,如炉管,密封圈,加热元件等)


质量认证

• CE认证

• 所有电器元件(输入电压≦24V)都通过了UL/CSA认证

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